リーク検査装置

真空法、大気圧法を始めとしたHeを活用したリーク試験機の製作が可能です。洩れ流量下限測定は、1.0E-9Pa･m3/sec（インライン）が可能です。（実験室向け：1.0E-13Pa･m3/secまで対応可能）ワークは手のひらサイズから、2,000㎜サイズまでお客様のワークサイズに合わせて設備の設計、製作が可能です。
微細な洩れ検知の設備製作を得意としており、お客様のニーズに対して、データで裏付けされた確かな品質の設備をご提供できます。

Heガスは近年価格高騰、入手性困難といった問題を抱えており、ガスの置き換えが課題となっています。その中でAr（アルゴン）、Airを使用したリーク検査装置のご提案が可能です。洩れ流量のターゲット領域は1.0E-4Pa･m3/sec～1.0E-6Pa･m3/secとなります。

Heの価格高騰、入手性困難に対する対策として、Heを回収して再利用する設備のご提案が可能です。使用したHeを回収してタンク内で濃度管理をして再利用するのは当然で、当社はHeガスを回収するための経路、配管、回路構成、ポンプなどの機器選定に対するノウハウがあり高効率の回収装置のご提案が可能です。
また差別化のアイテムとして精製装置を保有しており、回収したガスからHeと空気を分離して高濃度のHeを抽出することにより、効率をより上げることが可能です。

トライ設備を保有しており、お客様の製品に対する性能試験、耐久試験が可能です。ご要望に合わせて最適な検査方法をご提案致します。ドライルームも完備しており、ドライ環境化での試験も可能です。